シリカゾルインクによるマイクロディスクキャビティの印刷作製法の検討

抄録

マイクロキャビティの一種であるマイクロディスクはモード体積が小さく実装性が高いため様々な応用が期待されている。マイクロディスクの作製に主に使われているリソグラフィ法は、高精度かつ大量生産に向いている。一方で我々は常温・大気圧でオンデマンドな作製ができるインクジェット印刷法を提案し、シリカとポリマを用いたマイクロディスクの作製及びレーザ発振に成功した。しかし、ポリマは熱耐久性が低いため、マイクロディスクの光学特性に影響を与えうる。本研究では、シリカゾルインクを用いることで熱耐久性の向上が期待できるので、材料の光学特性評価を含め、インクジェットで印刷する手法の検討を行った。