ガリウム及びpolydimethylsiloxaneインプリントによる光学微細構造作製

抄録

ポリジメチルシロキサン(PDMS)を利用したモノリシックで小型・軽量な光学系を提唱・開発している。PDMSを充填した光路に、レンズや回折格子様な孔を構成して光学系を構成するため、常温で液化・固化が可能で高い表面エネルギーを持つガリウムを利用したPDMSインプリンティングの研究を行った。液体ガリウムとPDMSのインプリントでは表面粗さは数nm RMSで両者に残留は​ほぼ​見られなかった。ミクロン構造およびサブミクロン構造の作製についても、GaポッティングからのPDMS構造転写が可能であり、リトロリフレクタ 、回折格子構造の転写および、微細構造へのGa注入による反射型微細構造素子が作製可能であることを確認した。