SnO₂ナノ粒子修飾CNTガスセンサのNO₂応答に対するセンサ作製プロセスの影響

抄録

誘電泳動によりナノ材料を電極間に集積する誘電泳動集積法は、簡便なセンサ作製法である。また、これを繰り返すと、集積したナノ材料上に別のナノ材料を集積できる。この手法により、 SnO₂ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサを作製し、室温、空気中においてセンサ表面へのUV照射を用いることで10 ppbのNO₂を検出した。さらなる高感度化を目指し、本研究では 作製条件の異なるセンサを用意し、それぞれのNO2応答の取得及びSEMによるセンサ表面の形態観察を行った。