カーボンナノチューブを誘電泳動集積した電界効果トランジスタ型ガスセンサによるNO2の検出

抄録

本研究の目的は、誘電泳動集積法を用いてFET型のカーボンナノチューブ（CNT）ガスセンサを作製し、NO2を高感度に検出することである。従来の抵抗型はNO2吸着に伴うCNTの抵抗の変化を測定する。FET型は、そこに電界効果によるキャリア密度制御を加える。低抵抗P型シリコン基板上に電極を作製し、CNTを誘電泳動集積してセンサを作製した。作製したCNT-FETのオンオフ比は約1.6倍であった。ゲート電圧を20V印加すると、NO2検出感度が1.4倍向上した。