【企業講演】COMSOL Multiphysicsによるプラズマプロセスのマルチフィジックス解析

抄録

プラズマプロセスにおいては，電離や再結合等のバランスによるプラズマの維持や活性種の生成などのため，電子とそのエネルギーの輸送，イオンと励起種および反応種の輸送，空間荷電粒子を含む電場，外部から印加された電磁場，およびガス流と伝熱など様々な物理化学現象が起こり，解析難度が高い。本講演では，有限要素法（FEM）ベースの汎用物理シミュレーションツールCOMSOL Multiphysicsに基づくプラズマプロセスのマルチフィジックス解析技術を説明し，低圧プラズマから大気圧プラズマまでの高度な数値シミュレーション事例を述べる。