2019年度電気・情報関係学会九州支部連合大会（第72回連合大会）講演論文集
セッションID: 04-1P-05
会議情報
主催: 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
会議名: 2019年度電気・情報関係学会九州支部連合大会
回次: 72
開催地: 九州工業大学
開催日: 2019/09/27 - 2019/09/28
Al，P共添加ZnTe薄膜のMOVPE成長と評価
詳細
主催: 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
会議名: 2019年度電気・情報関係学会九州支部連合大会
回次: 72
開催地: 九州工業大学
開催日: 2019/09/27 - 2019/09/28
Pドープp型ZnTeバルク結晶へAlを熱拡散し形成したpn接合を有するZnTe LEDでの室温純緑色発光が実証されるなど，高輝度緑色LEDの材料としてZnTeが注目されている．ZnTe薄膜成長においては，p型伝導性制御は十分達成されてきた一方，n型ドーピングに関してはAlが有効なドーパントであることが報告されているが，十分な再現性や制御性は得られていない．我々は最近，過去に報告例のないAlとPを共添加したZnTe薄膜成長を，有機金属気相成長（MOVPE）法を用い開始した．本講演では，Al原料（トリエチルアルミ）およびP原料（トリスジメチルアミノ燐）の供給量を変化させた条件下で成長したAl，P共添加ZnTe薄膜の結晶性，光学的および電気的特性等を報告する.
