ガス圧力がSnO₂ガスセンサのCF₄応答に及ぼす影響

抄録

ガス絶縁開閉装置（GIS）の内部に充填されたSF6は、部分放電や過熱等の異常により分解される。そこで、SF6分解に由来するガス成分の一つであるCF4を検出することでGISの設備診断が可能である。筆者らはこれまでに、誘電泳動集積法によりSnO2、ZnO、カーボンナノチューブ等を材料とした半導体ガスセンサを作製し、CF4の検出を行ってきたが、そのセンサ感度は目標感度に及ばなかった。本研究では、CF4検出におけるセンサ応答値の向上を目的として、SF6中のCF4の圧力を400kPaまで高めた際のSnO2ガスセンサの応答を調査した。その結果、ガス圧力400kPaでの応答値は室内気圧でのものと比較して大きく、圧力印加による応答値向上の可能性が示された。