日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
2011年年会講演予稿集
セッションID: 3A06
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ペロブスカイト型酸化物界面層を用いた一軸配向性MBi4Ti4O15薄膜(M = Ca, Sr)の作製
*内田 寛近藤 陽太木村 純一多久和 至舟窪 浩
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抄録
本研究では(擬)ペロブスカイト型結晶構造を有した界面層の導入によりSi基板上に高い結晶配向性を有するMBi4Ti4O15薄膜 (BLSD;M = Ca, Sr)を作製した。結晶配向性を制御する界面層としてLaNiO3薄膜およびCa2Nb3O10ナノシートを採用し、これらを担持したPt電極付きSi基板上に化学溶液法を用いて目的の薄膜試料を成膜した。基板上に直接作製した試料ではBLSD結晶がランダムな配向性を有していた。一方、界面層として導入した試料ではBLSD(00l)に対応する回折線が選択的に認められ、良好な結晶性を有するBLSD結晶が基板面方位に対して一軸配向成長したことが確認された。
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©  日本セラミックス協会 2011
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