光渦レーザーパルスによる酸化亜鉛薄膜のレーザーアブレーション

抄録

近年、光渦を用いたレーザー加工現象に注目が集まっている。これまで、金属ツイストマイクロニードルの形成やマイクロ液滴の垂直飛翔といった特殊な現象の報告があるが、その形成メカニズムは未解明な点もある。我々はこれまでに酸化亜鉛焼結体をターゲットとして光渦照射を行い、酸化亜鉛の溶融液滴の直線飛翔とマイクロ結晶球の合成を実証している。さらに、酸化亜鉛薄膜を用いることでマイクロ結晶球の合成制御を狙っており、本研究では酸化亜鉛薄膜に対して光渦を照射した際の放出粒子や照射痕形成などのレーザーアブレーション現象について調査を行った。