テラヘルツ波における無反射膜の有用性の確認

抄録

テラヘルツ波による高速無線通信の実現が期待されている。我々はフォトダイオードにおけるフォトミキシング機能を用いたテラヘルツ波発生の研究を行っている。テラヘルツ波はフォトダイオードと集積した微小アンテナからを上方へ放射されるが、一部は下方へ放射された後、半導体基板裏面で反射され、上方のテラヘルツ波と干渉を起こす。そこで半導体基板裏面に無反射膜を形成してテラヘルツ波の反射を低減することを検討した。実験ではレーザ光から単一走行キャリアフォトダイオード（UTC-PD）でテラヘルツ波生成し、無反射加工されているシリコン基板の透過率を計測することで無反射膜の有用性を検証した。