CNT-FETガスセンサを用いたNO2検出における電流ヒステリシス特性と感度向上への応用

抄録

本研究の目的は、誘電泳動集積法を用いてFET型のカーボンナノチューブ（CNT）ガスセンサを作製し、NO2を高感度に検出することである。従来、CNT-FETの電流ヒステリシスは抑制する研究が行われてきたが、我々はこれを利用してセンサの感度を向上させることを考えた。ゲート電圧を往復させて測定を行うことにより、1方向に変化させた場合よりも2〜3倍程度大きなガス暴露による閾値変化が見られた。FET型のガスセンサにおいて、ガス暴露による閾値変化が大きくなることでドレイン-ソース電流の変化量が増えることから、より高感度な検出が期待される。本論文では、この原因などについて実験・考察を行った。