フロー式1step誘電泳動集積法を用いたSnO₂/カーボンナノチューブガスセンサのNO₂検出特性

抄録

我々は以前にNO2検出を目的として、SnO2/CNT混合懸濁液を電極間に滴下させ誘電泳動集積を行うことでSnO2/CNT複合ガスセンサを作製し、懸濁液濃度比の最適化を行った（バッチ式）。しかし、この方法で作製したセンサは集積量が少なく、センサ性能の安定性に問題があった。そこで本論文では、集積状況の改善を目的として、懸濁液を一定流入させながら誘電泳動集積を行う手法をとり、集積時間によるセンサ応答の変化を調査した（フロー式）。溶液は滴下で作製した際に最も優れた応答を示した、モル比[C]:[SnO2]＝1：100の条件で調製し、バッチ式とフロー式でセンサの性能、再現性を比較した。