大気圧低温プラズマ用ダブルプローブ計測システムの開発

抄録

大気圧グロー放電は真空装置無しに非平衡低温プラズマを生成できる方式であり、プラズマを最適化するには、電子温度や電子密度といったプラズマの基本的なパラメータを実時間に測定する計測システムが極めて有用である。プラズマ計測法の一つである静電プローブ法は低コストで情報量が多いなどの大きな利点があるが、減圧したプラズマでの計測に使用され、大気圧領域での適用は通常困難である。本研究では、荷電粒子と中性ガスの衝突を適切に考慮することで、測定を可能とする計測システムの構築を行った。大気圧グロー放電に適用した結果、レーザー散乱法や分光法で報告された結果とほぼ同様の電子温度、密度値が得られることがわかった。