平板型バリア放電窒化処理系におけるプラズマ点火面積と処理範囲の制御

抄録

点電極を用いた誘電体バリア放電は高温下で拡張化現象が確認されている。我々は、バリアの厚みを薄くすることにより、DBDの高温拡張化現象を印加電圧によって抑制することができるのではないかと考え、以前より薄いバリアを使用できるようにプレートヒーターを用いた新実験系を構築した。そして、構築した新実験系を用いて、印加電圧によりプラズマ点火面積を制御するとともに窒化処理範囲の制御をすることを試みた。その結果、以前より低電圧で放電を点火させることができ、高温下での拡張化を抑制することに成功した。また、点火面積を制御したプラズマを用いて窒化処理を行うと、試料の中央のみに窒化処理を施すことにも成功した。