冷却機構を備えた高速立ち上がりナノ秒パルス放電方式オゾナイザの特性

抄録

放電形態がストリーマ放電主体であるナノ秒パルス放電技術を開発され、熱損失が少なくエネルギー効率に優れた省エネ型オゾン発生器の研究を進められてきた。ナノ秒パルス放電によるオゾン生成は優れたエネルギー効率を誇る一方で、生成オゾン濃度が40g/m3で飽和するという課題を抱えている。生成オゾン濃度飽和の主な原因としては、オゾンの電子衝突分解と熱分解が挙げられる。本研究では、ナノ秒パルス電源を改良し、パルスの立ち上がり高速化を行うことにより、電子衝突分解の低減並びに生成オゾン濃度の高濃度化を目指した。加えて冷却機構を導入し、熱分解を抑制することで、生成オゾン濃度に与える影響を調査した。