ナノ秒パルス放電方式オゾナイザにおける初期オゾン添加時のオゾン分解特性調査

抄録

オゾンは今日地球の環境改善に役立つ物質として、上下水道処理、半導体洗浄、工場排水処理など幅広い分野で利用されている。近年、このオゾン生成における新たな手法としてパルスパワーによるオゾン生成が注目されており、他の放電方式に比べエネルギー効率は高いが、生成されるオゾン濃度が40g/m3で飽和し、下水処理や殺菌処理で必要となる100-120g/m3には届いていないのが現状である。そこで本研究では、オゾン濃度飽和の原因解明への足がかりとして，初期オゾンを添加した状態で放電やガス加熱を行うことでオゾンの熱分解及び電子衝突分解の特性を調査し，オゾンの熱分解と電子衝突分解の発生するエネルギー領域の切り分けを行った。