大気圧プラズマジェット窒化におけるNH発光特性と処理可能範囲の相関の調査

抄録

大分大学独自の技術であるパルスアーク型大気圧プラズマジェットの窒化処理技術は、多品種少量生産技術を実現することを目的に開発している。本実験では、試料温度を従来のプラズマジェットではなく、プレートヒータで制御することによって、窒化可能面積の拡大化に成功した。また、窒化を促進させると考えられているNHラジカルの系方向における発光強度の強さを発光分光法で測定したところ、NHラジカルの生成範囲まで窒化できたことがわかり、窒化との相関が見られた。さらに、レーザー誘起蛍光法（LIF）を用いた計測により、プルーム中にNHラジカルの基底種も多く存在していることを明確化した。