超電導コイル利用の超電導磁気軸受を用いたウェハ搬送装置の提案

抄録

今真空中でウェハーを作る時ほとんどロボットで搬送します、でもロボットで搬送すると振動が発生しますから、超電導を使って、ピン止め効果で磁気浮上すると、振動が多く抑えることができます。自分の研究としては極高真空でも使える構造で、超電導バルクと超電導コイルを用いた新たな構造で搬送装置として振動特性を測定しました。そしてバルクとコイルの位置を変えて、水平方向と垂直方向の減衰と剛性を実験でまとめました。そして水平方向でより強い減衰や剛性などの構造を試して検討します、そして減衰と剛性が強い構造を決めて搬送装置を提案します。