電界解析による高温下バリア放電の放電範囲制御性の調査および超局所窒化への応用

抄録

本研究では点電極を用いた誘電体バリア放電を窒化処理に応用し，鋼の局所窒化処理を目指している。先行研究より高温下バリア放電の拡張現象が発見され局所窒化処理の実現が困難となっていた。そのため本研究では電界解析を行い，その結果拡張現象の原因が換算電界であることを初めて解明した。また，電界解析の結果から印加電圧による放電範囲及び窒化範囲制御の可能性が示唆されたため，実験的検証を行なった。その結果，点電極の印加電圧により高温下DBDの放電範囲の制御に成功し，これによりサブミリメートル領域の超局所窒化も可能であることが解った。