磁気駆動マイクロポンプの低背化を目指した新形状の検討

抄録

ノートP C等の小型電子機器用冷却システムとして、従来の空冷システムに代わり、冷却性能の高い液冷システムが注目されている。これまで本研究室では、可動子にφ3mmの磁石を使用した磁気駆動マイクロポンプを採用していた。しかし、電子機器の薄型化が進み、ポンプの低背化が必要となった。そこで本研究では、新たな素子構成を提案することでポンプの低背化を図った。今回は新型ポンプの基礎特性を中心に報告を行う。