近年、電子機器の小型化、高集積化に伴い高効率の放熱が重要となっている。そこで、デバイスを効率的に放熱させる材料として、柔軟性に優れる合成樹脂と高熱伝導性フィラーで構成される伝熱シートが注目されている。我々の研究グループは、ダイヤモンド粒子をフィラーとして、電界整列法を用いてフィラーを熱伝導方向に整列させた伝熱シートを作製し、その熱伝導特性の向上を目指している。本研究では、鱗片形状のダイヤモンドフィラーである多結晶ダイヤモンドフレークのサイズ制御法について、多結晶ダイヤモンド膜の成膜条件に着目し調査を行った。
