JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING OF JAPAN
Online ISSN : 1881-1299
Print ISSN : 0021-9592
Short Communications
Gas Permeation through CVD Modified Anodic Alumina Membrane
Kaoru Onuki, Masayasu Nagoshi, Hayato Nakajima, Saburo Shimizu
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キーワード: Inorganic Membrane, Anodic Alumina, Chemical Vapor Deposition, Tetraethylorthosilicate, Gas Permeation
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1997 年 30 巻 2 号 p. 359-362

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© 1997 The Society of Chemical Engineers, Japan
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