ITOとAlがH3PO4溶液中で短絡した場合のITOの還元的腐食挙動を電気化学試験によって調査した．ITOはH3PO4溶液中でAlと短絡した場合と－0.7 V vs. SCE以下に分極された場合に還元されてInとSnが生成した．これを抑制するためにHNO3を添加した結果，硝酸イオンの還元が優先することで，ITOの還元は抑制された．またITOはH3PO4溶液中でアノード分極しても溶解しないが，還元後にアノード分極すると溶解するため，所定のITO層を電解研磨する方法としても応用できる可能性が示された．
