照明学会誌
Online ISSN : 1349-838X
Print ISSN : 0019-2341
ISSN-L : 0019-2341
LPCVDによる酸化タンタル膜の光学特性
屈折率の分散特性と熱による変動
鈴木 伸二, 島岡 清新, 小島 敏靖
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1999 年 83 巻 Appendix 号 p. 39

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