無電解銅めっきの物性に影響する因子

抄録

一般に, 無電解銅めっき皮膜の物性は浴の主成分濃度や操作条件およびめっき浴中に存在する不純物に依存する。本研究では, 各種めっき条件下での延性と応力の相関性について検討した。その結果, 錯化剤濃度が高く, 添加剤としてCeCl₃を添加しためっき浴から高延性, 低応力の皮膜が得られた。しかし, 5%前後の低延性皮膜でもノンクラックに近いものがあることが認められた。5ターン後の模擬老化浴1L中に, 1μm以上の微粒子が200万個以上存在する事を確認した。これらの微粒子はSi, Al, Fe等から構成されており, 異常析出の発生原因となっている。連続ろ過により, これらの微粒子は数千個まで減少し, 異常析出を大幅に抑制し, クラックのない皮膜が得られた。