縦磁場印加FZ(VMFZ)法によるSi単結晶中のファセット生成(III) : 融液成長VI

日本結晶成長学会誌

Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275

縦磁場印加FZ(VMFZ)法によるSi単結晶中のファセット生成(III) : 融液成長VI

木村雅規, 新井英夫, 山岸浩利

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1992 年 19 巻 1 号 p. 125-

DOI https://doi.org/10.19009/jjacg.19.1_125

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© 1992 日本結晶成長学会

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