日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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シリコン融液中の石英ガラス溶解速度 : ボロン添加の効果
安部 啓成松元 健前田 進中西 秀夫寺嶋 一高
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1997 年 24 巻 2 号 p. 83-

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抄録
The influence of boron addition on quartz dissolution rate in silicon melts has been investigated. Quartz dissolution rate increases with increasing boron concentration by using SiC-coated crucibles.Whereas in the case of quartz crucibles, quartz dissolution rate decreases with increasing boron concentration. The temperature dependence of quartz dissolution rate in boron doped silicon melt is markedly observed.
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© 1997 日本結晶成長学会
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