日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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ECR-MBE法を用いた(001)ルチル型TiO_2基板上立方晶GaN成長 : エピキタシャル成長II
間宮 恒北村 健荒木 努丸山 隆浩名西 〓之
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2002 年 29 巻 2 号 p. 31-

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抄録

TiO_2 has the advantage of low lattice mismatch of just about 2 % with Gubic GaN. We studied cubic GaN grouth on a (001) rutile TiO_2 substrate by ECR-MBE. For the first time, oriented cubic GaN polytype was obtained on the substrate by optimizing growth temperature. Growth orientation of the cubic GaN was found to be <110>.

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© 2002 日本結晶成長学会
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