日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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MOCVD法によるGaN/Siの結晶成長 : エピキタシャル成長III
吉田 清輝李 江伊東 義曜和田 崇宏竹原 洋斉
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2002 年 29 巻 2 号 p. 34-

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抄録

GaN was grown on the Si (111) substrate using MOCVD. The growth conditions of a buffer layer were investigated at 600-850℃. The optimum buffer layer condition was confirmed. As a result, a homogeneous GaN layer without cracking was obtained.

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© 2002 日本結晶成長学会
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