日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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25aB09 GaAs側壁トンネル接合作製のための選択再成長分子層エピタキシと再成長前AsH_3表面処理の効果(半導体エピ(1),第34回結晶成長国内会議)
大野 武雄小山 裕須藤 建西澤 潤一
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2004 年 31 巻 3 号 p. 130-

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抄録
Area-selective regrowth by molecular layer epitaxy was applied for the fabrication of sidewall GaAs tunnel junctions. These tunnel junctions have shown record peak current densities of up to 37000A/cm^2 at RT. It is also shown that the tunnel junction characteristics have been improved by AsH_3 surface treatment just prior to regrowth.
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© 2004 日本結晶成長学会
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