日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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26aB05 サファイア除去基板を用いたGaN単結晶育成(窒化物(1),第34回結晶成長国内会議)
山田 祐嗣梅田 英和森下 昌紀川原 実川村 史朗吉村 政志森 勇介佐々木 孝友
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2004 年 31 巻 3 号 p. 208-

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抄録
Up to now, GaN single crystal has been grown on MOCVD-GaN substrate with sapphire substrate. However, sapphire substrate introduces stresses on GaN during the growth period. Therefore we removed a sapphire from GaN single crystals which had been grown in the Na flux and tried the homo-epitaxial growth on GaN substrate without sapphire.
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© 2004 日本結晶成長学会
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