精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
展望
精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割
涌井 伸二
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2007 年 73 巻 4 号 p. 405-409

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