MEMS光スイッチ

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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MEMS光スイッチ

山口城治

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キーワード: MEMS mirror, optical switch, free-space optics, fiber collimator array

ジャーナルフリー

2010 年 76 巻 5 号 p. 514-517

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.514

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