レーザによる微細穴加工

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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レーザによる微細穴加工

比田井洋史

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キーワード: laser, microdrilling, high-aspect-ratio, optics, ablation, deep hole

ジャーナルフリー

2012 年 78 巻 6 号 p. 453-456

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.78.453

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