非接触走査型ナノ形状測定法の開発

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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非接触走査型ナノ形状測定法の開発

遠藤勝義

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キーワード: profiler, direct measurement, normal vector, high accuracy mirror, aspheric mirror, slope error, five-axis simultaneous control, ultra precision machining

ジャーナルフリー

2014 年 80 巻 6 号 p. 510-513

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.80.510

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