【知的ナノ計測専門委員会】ものづくり基盤の進化からイノベーションの創出を担う知的ナノ計測

精密工学会誌

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【知的ナノ計測専門委員会】ものづくり基盤の進化からイノベーションの創出を担う知的ナノ計測

高谷裕浩

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キーワード: intelligent nano-measurement, metrology, traceability, optical comb, areal topography, optical measurement

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2015 年 81 巻 10 号 p. 911-914

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.81.911

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