砥粒の保持特性を大幅に向上させた多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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砥粒の保持特性を大幅に向上させた多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発

野村信幸, 望月隆弘, 澤畠智也, 広川良一, 若杉博雄

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キーワード: polishing, epoxy resin, polishing pad, abrasive, glass

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2015 年 81 巻 2 号 p. 108-112

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.81.108

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