精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
解説
ピコメートルオーダ分解能変位計測技術
明田川 正人
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キーワード: picometer, displacement, interferometer, linear encoder, interpolation, interpolation error
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2019 年 85 巻 4 号 p. 318-322

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