解説
多機能高速工具サーボFS-FTSを用いた超精密微細加工と計測
キーワード:
measurement,
fast tool servo,
force sensor,
FS-FTS,
fabrication,
diamond cutting,
micro-structure,
displacement sensor,
multi-function,
smart manufacturing
2019 年 85 巻 7 号 p. 613-617
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