変位計測干渉計 (正弦波周波数／位相変調干渉法)

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
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変位計測干渉計 (正弦波周波数／位相変調干渉法)

明田川正人

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キーワード: interferometer, displacement, interpolation, sinusoidal frequency/phase modulation

ジャーナルフリー

2019 年 85 巻 8 号 p. 675-679

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.85.675

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