展望
超精密位置決め専門委員会 超精密位置決めにおけるアンケート調査
―精密メカトロニクスと精密計測に関するアンケート調査―
キーワード:
ultra-precision positioning,
questionnaire survey,
positioning accuracy,
positioning resolution,
positioning device specification,
actuator,
guide way,
positioning control theory
2020 年 86 巻 10 号 p. 735-740
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