解説
エリプソメトリック顕微鏡 ～斜め観測用光学顕微鏡の設計からその応用まで～
キーワード:
ellipsometry,
polarized light,
microscopy,
oblique illumination,
optical design,
thin film,
material
2020 年 86 巻 7 号 p. 533-536
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