ダイヤモンド表面の超高精度加工技術と高放熱デバイスへの応用

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
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ダイヤモンド表面の超高精度加工技術と高放熱デバイスへの応用

檜座秀一, 久保田章亀

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キーワード: polishing, diamond, bonding, GaN, HEMT, heat-dissipation

ジャーナルフリー

2022 年 88 巻 6 号 p. 449-452

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.88.449

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