精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
グラビアとインタビュー　精密工学の最前線
小径倣いプローブと画像測定機のハイブリット化が拓く新しい微細形状測定
服部 淳, 井村 隆治, 新井 秀幸, 伊東 聡
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2022 年 88 巻 9 号 p. 653-656

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