微細形状測定機用マイクロファイバスタイラスの製作技術

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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微細形状測定機用マイクロファイバスタイラスの製作技術

村上洋

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キーワード: microstructure measurement, optical fiber stylus, L-shaped stylus, two-step plus hinge stylus, water-repellent and antistatic coating

ジャーナルフリー

2022 年 88 巻 9 号 p. 678-683

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.88.678

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