抄録
メタンやアルコール等の炭素源と水素を用いた熱フィラメントCVD法でダイヤモンド薄膜を合成できることをX線回折,ラマン分光によって確認した.本方法はフィラメントと基板からなる簡単でしかも安価な装置である.ダイヤモンドの成長速度も10μm/hと速く,合成の圧力範囲が広く,特に常圧(760 Torr)で合成できることは,操作も容易になり工業化に有望であると思われる.
一方,フィラメントの寿命,ダイヤモンド薄膜の大面積化,反応プロセスの低温化などが今後の課題である.ダイヤモンドは新素材として今後とも注目を集めていくであろう.
