精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
超精密技術に関する日米合同会議を中心として
訪米超精密技術調査団
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1987 年 53 巻 2 号 p. 232-235

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