本研究では新たに開発した高感度非接触粗さ計の原理,基本的な特性,測定結果の数例について述べた.主な結果をまとめると次のとおりである.
(1)本測定法の感度と光学系のパラメータの関係を定性的に明らかにした.
(2)表面粗さ計校正用の段差マスタによる触針式粗さ計との比較実験などを行うことにより試作機の基本特性を明らかにした.試作装置の測定分解能は2nm,測定範囲は1μmである.
(3)超精密ダイヤモンド旋盤上に装置を搭載したオンマシン測定実験を行い,0.01μmRmaxオーダの測定が可能なことを確認した.
(4)測定の方向性に関して検討した.すなわち図2の光学系に対し,測定表面が紙面に平行方向に運動する場合も,垂直方向に運動する場合も有効な測定が行える.
