精密工学会誌
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直列比較による光散乱式粒子計数器の精度評価
榎原 研正矢野 宏
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1987 年 53 巻 4 号 p. 658-663

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抄録

2台のOPCの直列同時計数が可能な装置を試作しOPCの計数精度評価のための実験を行った.計数値のぼらつき(計数誤差)と器差の原因について検討を加え,以下のことを明らかにした.
(1)しきい値粒径と被測定粒子の径の差が計数値のばらつき(計数誤差)および器差の大きさを決定する主要なパラメータとなっている.
(2)計数誤差は主としてしきい値粒径近傍に分布する粒子に対する粒径弁別の不確定性による.またその大きさはサンプリング誤差と同程度になる場合がある.
(3)器差の主要原因は,粒径分解能のOPCによる差である.

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