エレクトロニクス産業関連の欠陥検査

抄録

表面欠陥検査はまだ人手に頼る場合が多い.しかしエレクトロニクス産業における欠陥検査のように,広い面積の中の微小欠陥検出においては,肉眼作業の疲労の問題から,レーザを用いた方法が使われ始めている.
ここでは,パターンのある表面の検査に的を絞り,各種方法を紹介した.ハイテク産業の発展とともに,今後ますます欠陥検出感度向上の必要性が高まるものと思われる.